Flatness measurement tool
MLL Series (광원generator + detector 구성)
제품특징
무선 타입
실시 평탄도 측정 방식
Auto Zero calibration
PDA data collection
제품 적용분야
반도체 CVD 장비분야 평탄도 측정
기구 leveling alignment 분야
자동차 부품 평탄도 관리
제품 기술사양
광원 head move 방식 : Automatic rotation
Detector Linearized accuracy : ±3.5um
Auto saving 측정값 with PDA