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나노박막

나노박막

대면적 나노 박막 두께 & 굴절 측정 시스템 표준연 & MSOTEK

Line Resolution : 10k point 이상
→ 선형적 측정 가능

측정 속도 : > 150P / sec
→ 측정 포인트 확장 가능

고속 측정 가능
→ 전수 조사 가능

OLED 수율 향상 기여

Line Resolution : 10k point 이상
→ 선형적 측정 가능

측정 속도 : > 150P / sec
→ 측정 포인트 확장 가능

고속 측정 가능
→ 전수 조사 가능

OLED 수율 향상 기여

제품 설명

X-Y Stage → X축 이송으로 대체

정밀도 : < 1Å

Point 측정 방식 → Line 측정 방식

LCD : 1500 points / min

실시간 전수 검사 가능, 공정 수율 개선