응용분야

MLL 시리즈

평탄도 측정 (CVD 챔버 플레이트에서)

먼저, 빔이 측정 대상물에 대략적으로 평행 및 수직으로 정렬됩니다. 그런 다음 검출기가 선택한 측정 지점에 배치되고 값이 등록됩니다. 측정에 따라 세 개의 측정점이 0으로 설정되고 다른 점은 새로 작성된 참조선에 대해 다시 계산됩니다. 다른 측정 포인트의 측정 값은 레이저 평면으로부터의 편차를 나타냅니다. 측정 값은 다시 계산되어 그 중 3 개가 0 참조가 되며 최대 두 개가 좌표계에서 수평, 수직 또는 대각선으로 정렬된다는 제한이 있습니다

수평면에 평행 한 참조 평면을 사용한 평탄도 측정

레이저 빔은 레이저 송신기의 바이 얼에 따라 조정되고 첫 번째 측정 지점의 측정 값은 0으로 설정됩니다. 다른 측정 포인트의 측정 값은 수평 평면으로부터의 편차를 보여줍니다

표면의 측정점은 어떻게 결정할 수 있습니까?

평탄도를 측정할 시, 표면의 측정점을 결정하는 것이 중요합니다. 이는 X 및 Y 축의 좌표계 또는 각 볼트 구멍 (예 : 플랜지)에 표시됩니다.