Gap&leveling spacing tool
MCT-4000 Series (3 Channel)
제품특징
CVD 장비의 Leveling 작업을 위한 최적화된 솔루션
외부노이즈로 부터 영향을 최소화
간단한 구성 / 고정밀도 / 저 잡음 특성
과부화 자동 차단기능
무선 통신 인터페이스 적용
HMI을 사용하여 편리한 유저 인터페이스 제공
제품 적용분야
반도체 CVD 장비
Chamber 내의 Gap & leveling을 측정하는 장치
무선 용도에 적합
제품 기술사양
파워 : AC100V ~ 240V 50/60Hz 1.8A
사용온도 : 85℃이내
측정범위 : 550 ~ 750mils
정밀도 : ±2um
Sensor Controller(Embedded battery): 200mm, 300mm, 450mm