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제품소개

Gap&leveling spacing tool

MCT-4000 Series (3 Channel)

제품특징

CVD 장비의 Leveling 작업을 위한 최적화된 솔루션

외부노이즈로 부터 영향을 최소화

간단한 구성 / 고정밀도 / 저 잡음 특성

과부화 자동 차단기능

무선 통신 인터페이스 적용

HMI을 사용하여 편리한 유저 인터페이스 제공

제품 적용분야

반도체 CVD 장비

Chamber 내의 Gap & leveling을 측정하는 장치

무선 용도에 적합

제품 기술사양

파워 : AC100V ~ 240V 50/60Hz 1.8A

사용온도 : 85℃이내

측정범위 : 550 ~ 750mils

정밀도 : ±2um

Sensor Controller(Embedded battery): 200mm, 300mm, 450mm